SIASUN PHOENIX-S25 Vakum Robotu, SIASUN'un EFEM taşıma ve vakum transfer platformları dahil "temiz robot" alt sistemleri içinde gruplandırılmıştır. Hassas alt tabakaları proses ve depolama konumları arasında taşır.

Yarı iletken ve ileri üretimde waferler veya paneller için kontaminasyonu ve taşıma riskini en aza indirir.

Phoenix-S25 yarı iletken ve endüstriyel temiz üretim uygulamalarına hizmet eder.

Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.