- Entraînement direct, sans courroie Une structure moteur sans engrenages ni courroies réduit le jeu et les points d'usure mécanique pour un mouvement de transfert plus fluide et plus fiable.
- Adapté à l'environnement sous vide Conçu pour une faible génération de particules et un dégazage contrôlé, afin que les wafers traversent les équipements sous vide sans rompre l'environnement contrôlé.
- Manipulation de substrats sensibles Transfère les wafers entre sas de chargement, chambres de transfert et modules de process tels que les stations de dépôt, de gravure et de métrologie.
- Mouvement à vibrations maîtrisées Le mouvement est réglé pour minimiser les vibrations lors de la prise, de la dépose et du déplacement, protégeant les substrats de grande valeur.
- Commande prête à intégrer Fourni avec un contrôleur de mouvement et des interfaces I/O, dont un module I/O actualisé, pour la connexion aux verrouillages de l'équipement et aux signaux d'usine.
- Transfert répétable à haut débit Une manipulation constante par l'effecteur soutient la répétabilité, le débit et la maîtrise de la contamination dans les équipements de traitement des semi-conducteurs.
Description
Le SIASUN Vacuum Robot Phoenix est un robot de transfert sous vide pour la fabrication de semi-conducteurs et en salle blanche, conçu pour déplacer des wafers et d'autres substrats sensibles entre les sas de chargement, les chambres de transfert et les modules de process tels que les stations de dépôt, de gravure et de métrologie, sans rompre l'environnement contrôlé. Son mouvement est réglé pour un transfert stable et fluide dans des conditions de vide, où une faible génération de particules, un dégazage contrôlé et la maîtrise des vibrations sont essentiels pour protéger les substrats de grande valeur.
Le Phoenix utilise une architecture à entraînement direct qui réduit le recours aux engrenages et aux courroies, diminuant le jeu et les points d'usure mécanique pour un mouvement plus fluide et plus répétable. Livré comme plateforme prête à intégrer avec un contrôleur de mouvement et des interfaces I/O, il convient aux applications de manipulation sous vide dans les semi-conducteurs, les salles blanches et l'industrie, où comptent la répétabilité, le débit et la maîtrise de la contamination. Contactez-nous pour des spécifications détaillées, les prix et la disponibilité.
Fonctionnalités
Spécifications
| Marque | SIASUN |
|---|---|
| Modèle | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Type de robot | Robot de transfert de wafers sous vide |
| Architecture d'entraînement | Entraînement direct, sans engrenages ni courroies |
| Environnement | Vide / salle blanche (équipements semi-conducteurs) |
| Manipulation | Wafers et substrats sensibles via lame d'effecteur |
| Commande et I/O | Contrôleur de mouvement avec module I/O intégré pour l'intégration à l'équipement |
| Applications typiques | Transfert pour dépôt, gravure et métrologie dans les équipements de traitement des semi-conducteurs |
Secteurs
Questions fréquentes
Contactez-nous pour connaître les prix actuels, la disponibilité et obtenir un devis personnalisé pour le SIASUN Vacuum Robot Phoenix.
C'est un robot de transfert sous vide qui déplace les wafers et d'autres substrats sensibles entre les sas de chargement, les chambres de transfert et les modules de process tels que les stations de dépôt, de gravure et de métrologie, sans rompre l'environnement sous vide contrôlé.
Sa structure à entraînement direct, sans engrenages ni courroies, supprime les composants de transmission intermédiaires, réduit le jeu et les points d'usure mécanique et favorise un mouvement plus fluide et plus répétable pour un transfert de précision.
Oui. Le Phoenix est livré comme plateforme prête à intégrer avec un contrôleur de mouvement et des interfaces I/O, dont un module I/O actualisé, pour la connexion aux verrouillages de l'équipement et aux signaux d'automatisation d'usine. Les spécifications numériques détaillées sont fournies selon la configuration.
Oui. Robotix Market fournit les entreprises du monde entier avec facturation et support après-vente. Contactez-nous pour un devis.
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