Le SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfère des wafers ou substrats entre les chambres de procédé dans les équipements en grappe. Conçu pour les environnements sous vide avec un mouvement répétable et une haute disponibilité.

Il s'intègre aux modules d'automatisation front-end et aux outils cluster sous vide pour réduire la génération de particules et maintenir une fabrication propre.

L'Archer Series est destinée aux applications de traitement sous vide dans les semi-conducteurs et l'industrie.

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