- Вакуумные камеры
- Модули перемещения
- Хрупкие подложки
- Высокая повторяемость
- Ориентация на пропускную способность
- Контроль загрязнений
Описание
Вакуумный робот SIASUN SM14 работает через или внутри вакуумных камер и вакуумно-совместимых транспортных модулей. Перемещает хрупкие подложки между технологическими станциями с высокой повторяемостью.
Ключевая базовая технология для современных фабрик и передовых линий вакуумных процессов, где критически важны производительность и контроль загрязнений.
SM14 обслуживает применения в области полупроводников и промышленной вакуумной транспортировки.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Недавно просмотренные
Вы ещё не просматривали ни одного товара.
