O Robô de Vácuo Série Phoenix B SIASUN transfere wafers entre câmaras de bloqueio (load locks), câmaras de transferência e módulos de processo (deposição, ataque químico, metrologia) sem comprometer os ambientes controlados.

Melhora a repetibilidade, o débito e o controlo da contaminação no fabrico de semicondutores e em salas limpas.

A Série Phoenix B serve aplicações de manuseamento em vácuo nos setores dos semicondutores, educação e indústria.

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