- Schone robot
- Substraathandling
- Overdracht proces/opslag
- Contaminatiebeheersing
- Vermindering van handlingrisico
- Geavanceerde productie
Beschrijving
De SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Robot behoort tot de "clean robot"-subsystemen van SIASUN, waaronder EFEM-handling en vacuümtransferplatforms. Verplaatst gevoelige substraten tussen proces- en opslaglocaties.
Minimaliseert contaminatie en handlingrisico's voor wafers of panelen in halfgeleider- en geavanceerde productie.
De Phoenix-S25 is geschikt voor schone productietoepassingen in halfgeleiders en industrie.
Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
Sectoren
Recent bekeken
You haven't viewed any products yet.
