Der Vakuum-Manipulator der SIASUN PHOENIX-Serie arbeitet innerhalb eines Vakuum-Transfermoduls (VTM) oder einer Transferkammer eines Cluster-Tools. Bewegt Substrate (üblicherweise Siliziumwafer) zwischen Load-Locks und mehreren Prozesskammern.

Erfüllt strenge Reinheitsanforderungen, Positioniergenauigkeit und Verfügbarkeitsanforderungen als Teil des Frontend-Automatisierungsökosystems.

Die Phoenix-Serie wird für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Logistik, Forschung und Inspektion eingesetzt.

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