Buy SIASUN Vacuum Manipulator PHOENIX - Advanced Robotics Solution | Robotix Market
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Beschreibung

Der SIASUN PHOENIX-S25 Vakuum-Manipulator wird in Vakuumkammern, Load-Lock-Systeme und Cluster-Tools integriert. Bewegt Teile oder Substrate (Wafer, Panels, Carrier, Präzisionskomponenten) zwischen Prozessmodulen.

Positioniert als vakuumorientierte Manipulator-Plattform, ohne Materialien der Umgebungsluft auszusetzen.

Der Phoenix-S25 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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Funktionen

  • Vakuumkammern
  • Load-Lock-Systeme
  • Cluster-Tools
  • Wafer/Panels/Träger
  • Vakuumorientiert
  • Luftisolierung

Technische Daten

  • Modell: Vacuum Manipulator PHOENIX-S25 Series
  • Robotertyp: Vakuummanipulator
  • Verwendungszweck: Halbleiterhandhabung
  • Marke: SIASUN

Branchen
  • Industrie
SIASUN

SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix

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Roboterarm

Der SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Manipulator handhabt Substrate in Vakuumkammern und Clustertools. Luftisolierter Transfer für Wafer, Panels und Präzisionskomponenten.

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